DPウエハーケース
(ドロッププレート式ウエハー出荷用保護ケース)PAT-P
永久帯電防止処理・高強度・透明材を使用し、真空包装により安全確実に完成品ウエハーを輸送できるケースです。
特長
- 透明のため包装状態で内部観察ができます。
- 導電率1012Ωcm2以下。環境に依る変化はありません。
- 真空パック包装にて落下1mを保証。
- 開封後はサプレッサークリップにて簡便な保管ができます。(開発中)
- ウエハーの厚みや枚数に関係なくMAX13mmまで、同一包装形式で収納できます。
ウエハーサイズ | 5インチ | 6インチ | 8インチ(開発中) |
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本体パーツNO. | OM-DPW5C-17H | OM-DPW6C-13 | OM-DPW8C-13H |
プレートパーツNO. | OM-DPW5C-2T | OM-DPW6C-2T | OM-DPW8C-2T |
サプレッサークリップ | OM-DPW5S-17H | OM-DPW6S-13H | OM-DPW8S-13H |